Blade Dicing

ダイシング事業

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工程フロー


ダイシング工程フロー

アピールポイント


  • 高精度
  • 基板収縮に応じた加工が可能
  • 超純水洗浄
  • 経験が豊富
  • プログラム・条件を駆使
      • 歩留30%⇒100%実績あり
      • 生産性2倍実績あり
      • 他社で加工困難➡加工実現実績多数
      • テープの低残渣化実績など

☆ 先ずはご相談お願い致します。 CONTACT

対応可能な仕様と経験


素材

加工実績あり

経験豊富

AlN(窒化アルミ) 得意
Al2O3(アルミナ) 得意
・ZrO2(ジルコニア)
・Si(シリコン)
・ガラス系
・その他複合板材

※Al2O3+W,Cu+C,AlN+Cuなど多種対応経験あり。

加工実績あり

試験程度

・Al2O3(サファイヤ)
・Y3Al5O12(YAG)
・プラスチック系
・SiC(炭化珪素)

・Pb(Zr,Ti)O3 (PZTチタン酸ジルコン酸鉛)※

※量産規模の場合は排水処理システムの構築が必要です。

実績無し

挑戦してみたい

・ Si3N4(窒化珪素)
・GaN(窒化ガリウム)
 など

素材の表裏膜材質

 Ti、Ni、Pd、Ag、Sn、Pt、Au、Pb、グレーズなど

 ※素材とテープの密着性相性・膜厚や膜材質によってバリやチッピング等の発生が考えられます。

  弊社では最適な加工条件・プログラムの検証をおこないます。

素材の元サイズ 

 ・丸の場合、Φ8インチ(Φ200mm)まで

 ・四角の場合、□141x141mmまで

 ・厚み:素材の硬度によりますが、0.1~5mm程度まで

ダイシング後チップサイズ

 ・チップサイズ:□0.3mm~

 ・精度:素材の加工難易度によります。±10μmなどの実績あり 

支給および出荷形態


   適用事例

素材の支給形態

  • 素材のまま
  • テープに貼り付けた状態
  • ガラスに貼り付けた状態 など

出荷形態

  • ダイシングテープに貼り付けた状態
  • ピッキング用テープに貼り替えた状態
  • テープから剥離して出荷トレーに収納 など

その他支給例

  • ブレード
  • テープ
  • 出荷トレー など 
  • 各種支給して頂く場合や弊社で調達する場合があります。臨機に対応致します。

数量および価格


  • 1個1枚からご要望に応じて検討致します。

  • スポット数量別単価・量産時の月産依頼数量別単価などご要望に応じた見積りを提出させて頂きます。

主な加工実績


シリコンウエハー シリコンウェハー 微細加工 微細加工 □0.3mm~ 低ピッチ 定ピッチ加工 溝加工 溝加工 多枚貼り 多枚貼り加工 多角加工 多角形加工

工程・設備紹介


ダイシングマシン
超純水装置 超純水装置採水MAX2400ℓ/h 2流体洗浄機 2流体洗浄機ジェット洗浄+乾燥 画像寸法測定機 画像寸法測定機多点一括計測が可能 読み取り顕微鏡 読み取り顕微鏡GR&R実施 排水処理装置 排水処理装置自社設計 エアー圧力制御 エアー圧力制御安定供給 テープマウント テープマウント自社設計 各種治工具 各種治工具自社設計 ブレード ブレード各種用意可能 テープ テープ各種用意可能 リングフレーム リングフレームΦ6、Φ8インチ

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